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HAF 系列流量傳感器

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HAF 系列流量傳感器

霍尼韋爾 Zephyr? HAF 系列傳感器為指定的滿量程流量范圍及溫度補償范圍內讀取氣流數據提供一個數字界面。隔熱加熱器和溫度感應元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應。

Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質量流量。標準流量范圍為 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM,另具可定制化的流量范圍供您選擇。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進行全面的校準和溫度補償。

概述

霍尼韋爾 Zephyr? HAF 系列傳感器(qi)為指定的(de)滿量(liang)程流(liu)量(liang)范圍(wei)及溫(wen)度(du)補償范圍(wei)內讀取氣(qi)流(liu)數(shu)據提供一個數(shu)字(zi)界(jie)面。隔熱加(jia)熱器(qi)和溫(wen)度(du)感應元件可幫助(zhu)傳感器(qi)對空氣(qi)流(liu)或(huo)其他氣(qi)流(liu)做出(chu)快速響(xiang)應。

Zephyr 傳(chuan)感器旨(zhi)在測(ce)量空氣和其他(ta)無腐蝕性氣體的(de)質(zhi)量流(liu)量。標準流(liu)量范圍(wei)為 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM,另具可定制化的(de)流(liu)量范圍(wei)供您選擇。這些(xie)傳(chuan)感器利用(yong)(yong)電路(lu)板上的(de)專用(yong)(yong)集成電路(lu) (ASIC) 進行(xing)全(quan)面的(de)校準和溫度(du)補償。

HAF 系列 >10 SLPM 已經在經校準的 0 °C 至 50 °C [32 °F 至 122 °F] 溫度范圍進行補償。先進的基于 ASIC 的補償能夠實現數字 (I2C) 輸出和 1 毫(hao)秒(miao)的響應時(shi)間。

這些傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器根據(ju)熱(re)傳(chuan)(chuan)(chuan)遞原理測量氣流(liu)的(de)質量流(liu)量。它們(men)由含有(you)熱(re)電(dian)(dian)阻微橋的(de)微機電(dian)(dian)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)系(xi)統 (MEMS) 組成(cheng),薄膜鉑電(dian)(dian)阻沉積(ji)于氮(dan)化硅薄膜上。MEMS 傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)芯片位于精(jing)密設計的(de)氣流(liu)通道(dao)內,提供(gong)對于流(liu)量的(de)可重復響(xiang)應。

Zephyr 傳感器(qi)可以為客(ke)戶(hu)提供增強的可靠性(xing)、高準確度(du)、可重復(fu)測量(liang)等性(xing)能(neng),并(bing)且(qie)能(neng)夠定制傳感器(qi)以滿足許(xu)多具體的應(ying)用要求。堅固(gu)外(wai)殼和(he)穩定基底相結合使得這(zhe)些產(chan)品極其(qi)堅固(gu)耐用。它們的設(she)計(ji)與制造符合 ISO 9001 標準。


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