操作

微橋氣(qi)體質量(liang)流量(liang)傳感器的(de)工作原理是熱傳遞。氣(qi)體質量(liang)流量(liang)經引導流過傳感元件的(de)表面(mian)。輸出電壓與流過封(feng)裝(zhuang)(zhuang)進出口(kou)的(de)空(kong)氣(qi)或其(qi)他氣(qi)體質量(liang)成正比。特殊設計的(de)外殼精確地引導和控制氣(qi)流流過微結構(gou)傳感元件。封(feng)裝(zhuang)(zhuang)的(de)機械(xie)設計能夠輕松將其(qi)安裝(zhuang)(zhuang)在(zai)印刷電路板(ban)上。

微(wei)橋氣(qi)(qi)體(ti)質(zhi)量流(liu)量傳(chuan)感(gan)器內含一塊獨特的(de)(de)基(ji)于先進微(wei)結(jie)(jie)構技(ji)術的(de)(de)硅芯片。該芯片采用薄膜和(he)絕(jue)熱橋結(jie)(jie)構，內含加熱器和(he)溫(wen)度傳(chuan)感(gan)元件。橋結(jie)(jie)構能(neng)夠(gou)快(kuai)速(su)靈敏地(di)響應流(liu)過芯片的(de)(de)空氣(qi)(qi)或(huo)其(qi)他氣(qi)(qi)體(ti)氣(qi)(qi)流(liu)。中心(xin)加熱元件兩側的(de)(de)雙傳(chuan)感(gan)元件還(huan)能(neng)指示(shi)氣(qi)(qi)流(liu)流(liu)過的(de)(de)方向和(he)速(su)率。激光(guang)修正的(de)(de)厚膜和(he)薄膜電阻保證了從每個傳(chuan)感(gan)器之(zhi)間始終具有一致的(de)(de)可(ke)互換性。

微(wei)橋(qiao)(qiao)氣體質(zhi)量(liang)流(liu)(liu)量(liang)傳感器(qi)利用包裹在(zai)氮化硅薄膜(mo)中的(de)(de)(de)熱電(dian)阻。這些電(dian)阻呈(cheng)懸浮狀態，在(zai)硅片(pian)的(de)(de)(de)刻蝕腔上方(fang)形成兩座橋(qiao)(qiao)。芯(xin)片(pian)置于精(jing)確規格的(de)(de)(de)氣流(liu)(liu)通道，提供可重復的(de)(de)(de)流(liu)(liu)量(liang)響應(ying)。通過在(zai)流(liu)(liu)量(liang)傳感橋(qiao)(qiao)下刻蝕空腔，發熱器(qi)和傳感電(dian)阻能實(shi)現(xian)高效的(de)(de)(de)熱隔離(li)。微(wei)橋(qiao)(qiao)式氣體質(zhi)量(liang)流(liu)(liu)量(liang)傳感器(qi)的(de)(de)(de)小尺寸(cun)和熱隔離(li)功(gong)能實(shi)現(xian)對氣流(liu)(liu)的(de)(de)(de)極速響應(ying)及高靈敏度。

惠斯通(tong)雙橋控(kong)制氣流(liu)測量(liang)(liang)——一個提(ti)供閉環(huan)發熱(re)器控(kong)制，另一個包含雙感應元件。加熱(re)器電路通(tong)過提(ti)供與(yu)質量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)成(cheng)正比(bi)的(de)(de)輸(shu)出，最大程度地降低環(huan)境(jing)溫(wen)度變化導(dao)致的(de)(de)輸(shu)出變化。此電路可維持加熱(re)器的(de)(de)溫(wen)度以高于環(huan)境(jing)溫(wen)度 (160 °C) 恒定溫(wen)差(cha)，而環(huan)境(jing)溫(wen)度則(ze)由芯片上(shang)的(de)(de)熱(re)電阻測量(liang)(liang)得知。裝置的(de)(de)輸(shu)出與(yu)電源電壓(ya)成(cheng)比(bi)例，也與(yu)惠斯通(tong)電橋電路的(de)(de)差(cha)分電壓(ya)相(xiang)對應。

注意

最(zui)大程度地降(jiang)低(di)某些(xie)應(ying)用中(zhong)可能產生的灰塵(chen)污染的影響(xiang)。經(jing)過(guo)設(she)計，氣(qi)流中(zhong)可能存在的塵(chen)粒將平行于芯(xin)片表面流過(guo)芯(xin)片。另外，微結構芯(xin)片產生的熱遷移效應(ying)能移走橋結構上的微米級塵(chen)粒。

可使用(yong)簡單的過(guo)濾網(wang)，防止(zhi)粉(fen)塵附著在芯片邊緣和通(tong)道表(biao)面。在大多數應用(yong)中，只要在氣流裝置(zhi)的上游(you)側串(chuan)聯一只一次(ci)性(xing)的五(wu)微(wei)米過(guo)濾網(wang)，即可獲(huo)得充分(fen)的過(guo)濾效(xiao)果(guo)。

注意：產品損傷

AWM 系列微橋式氣體質量流量傳感器不適用于測量液體流量，液體流過傳感器時會損壞傳感器。
不遵守這(zhe)些(xie)說明(ming)可(ke)能會(hui)導致產品受損(sun)。